重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计

  发布时间:2024-12-23 13:41:15   作者:玩站小弟   我要评论
快科技10月25日消息,据华中科技大学官微消息,近日,该校武汉光电国家研究中心团队,在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍,其研发的T150A光刻胶系列产 。

快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计

据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破

公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。

当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。

由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。

武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。

相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。

团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”

重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计

  • Tag:

相关文章

  • 新华都晚间发布公告:阿里超5亿元入股新华都

    阿里超5亿元入股新华都“新零售”战略再下一城新华都昨9月26日)晚间公告称,公司控股股东新华都集团与阿里巴巴成都)软件技术有限公司以下简称“阿里成都”)
    2024-12-23
  • 白酒股票龙头再度走强 沱牌舍得、迎驾贡酒等表现亮眼

    白酒股早盘活跃,截至发稿,洋河股份、贵州茅台、山西汾酒、五粮液涨逾2%,老白干酒、今世缘、水井坊、泸州老窖、伊力特、古井贡酒涨逾1%,沱牌舍得、迎驾贡酒等也有不错的表现。 其中,贵州茅台股价再创历史新
    2024-12-23
  • 三部门扩大内销选择性征收关税政策试点范围

    8月10日从财政部获悉,日前,财政部、海关总署、国家税务总局发布通知,扩大内销选择性征收关税政策试点,并将自2016年9月1日起执行。通知表示,将内销选择性征收关税政策试点扩大到天津、上海、福建、广东
    2024-12-23
  • 日媒称中国开始爆买日本人才 华为高新聘请应届生

    新加坡《联合早报》12月3日文章,原题:日媒:中企出手阔绰 日本人才外流中国已是大势所趋中国游客到日本购物出手阔绰,日媒将此现象形容为“爆买”。最近有日媒报道称,日本人才外流到
    2024-12-23
  • 5G概念股爆发 中国5G技术研发取得阶段性成功

    近期,通信设备板块表现活跃,20日盘中现涨停潮。截至目前,中国国脉、万马科技、美格智能、广和通、纵横通信、武汉凡谷等涨停。最新消息显示,在中国信息通信研究院北京实验室,华为率先完成由IMT-2020(
    2024-12-23
  • 宜家再爆“夺命抽屉柜”事件 召回马尔姆系列产品

    宜家家居日前再次宣布,在美国和加拿大召回共计1730万个抽屉柜。宜家在去年就已经发布了召回通知,此次再次宣布是因为又有一名儿童被翻倒的家具砸中身亡,截至目前,类似事故已造成8名儿童死亡。据悉,这次召回
    2024-12-23

最新评论